Розділи
Матеріали

Китай зрадів, а в ASML напружилися: Canon випустила особливу систему літографії для чипів

Пилип Бойко
Фото: Canon | Система Canon FPA-1200NZ2C використовує наноімпринтну літографію

Уже в найближчому майбутньому японська корпорація збирається поліпшити техпроцес до 2-нм, до того ж її установка набагато простіша, ніж громіздкі системи від ASML.

Компанія Canon на своєму офіційному сайті сьогодні оголосила про створення новітньої системи "наноімпринтної літографії" FPA-1200NZ2C. Ця система дасть змогу компанії виробляти чіпи за 5-нм технічним процесом, а в найближчому майбутньому зменшити їхнє значення до 2-нм.

Компанія стверджує, що такий техпроцес ще більше збільшить продуктивність і функціональність нових процесорів. Для прикладу: найсучасніший чип A17 Pro всередині iPhone 15 Pro і Pro Max від Apple являє собою 3-нм напівпровідник.

Як зазначають експерти CNBC, головний конкурент і фактично монополіст на ринку літографічного обладнання, без якого немислима розробка нових процесорів, нідерландська компанія ASML, використовує у своїх установках ультрафіолетове світло. У Canon заявили, що її машині не потрібне джерело світла зі спеціальною довжиною хвилі, що знижує енергоспоживання і значно спрощує весь процес.

Обладнання ASML використовує ультрафіолет для розробки процесорів
Фото: ASML

Секрет успіху в наноімпринтній літографії

Canon розробляє свою технологію наноімпринтної літографії (NIL) ще з 2004 року, але тільки зараз у компанії змогли домогтися значного результату. Технологія японської фірми повністю виключає фотолітографію і замість цього наносить бажаний малюнок схеми на кремнієву пластину. Наноімпринтна літографія (НІЛ) — це метод формування наноструктур на поверхні з використанням механічного впливу. На відміну від традиційних методів літографії, таких як фотолітографія або електронно-променева літографія, НІЛ не вимагає використання фоторезисту або інших хімічних речовин.

Canon використовує технологію наноімпринтної літографії
Фото: Canon

Під час НІЛ використовується штамп, який має рельєфну структуру, що відповідає бажаній наноструктурі. Штамп нагрівається до температури, вищої за температуру плавлення резисту. Потім штамп притискається до поверхні резисту, і резист плавиться і приймає форму штампа. Після охолодження резист твердне, утворюючи наноструктуру.

НІЛ має низку переваг порівняно з традиційними методами літографії:

  • низька вартість: НІЛ не вимагає використання дорогого обладнання або матеріалів;
  • простота процесу: НІЛ є відносно простим процесом, який може бути легко масштабований;
  • висока роздільна здатність: НІЛ дає змогу формувати наноструктури з роздільною здатністю до кількох нанометрів.

До чого тут Китай?

Як відомо, Китай підданий найжорсткішим технологічним санкціям від США та їхніх союзників. До Китаю заборонено постачати будь-яке літографічне обладнання, яке дасть змогу КНР розробляти сучасні процесори для військових розробок. Уряд Нідерландів заборонив компанії ASML експортувати свої машини для літографії EUV до Китаю, і вона не відправила в країну жодного пристрою. Причина в тому, що ці машини є ключем до створення найпередовіших чипів.

Однак, тут експерти розгледіли виверт. Річ у тім, що в списку забороненого обладнання йдеться про ультрафіолетову літографію. Однак у системі Canon використовується технологія без ультрафіолетових променів, а отже розробка японців опиниться під пильною увагою з боку КНР. Поки що Canon не відповіла журналістам CNBC на запитання: чи може компанія відправити свою літографічну систему в Китай.

Раніше Фокус повідомляв, що Microsoft представить свій чип для ШІ. Компанія хоче заощадити десятки мільярдів доларів, які доводиться платити за процесори для штучного інтелекту.